長晶設備
晶盛機電研發的晶體生長設備,滿足大尺寸晶體生長,技術與規模雙領先
滾圓設備
晶盛機電推出應用於外圓滾磨的專用加工設備,可加工矽棒直徑兼容8英寸和12英寸,加工精度高,自動化程度高,穩定性強
切斷設備
晶盛機電研發出用於矽棒截斷的專用加工設備,可加工矽棒直徑兼容8英寸和12英寸,可取樣片、錐頭截斷、晶段截斷,加工效率高,客戶使用成本低,自動化程度高
線切設備
晶盛機電研發出了光伏矽、半導體矽、藍寶石三大領域的晶體切片設備,滿足4英寸至12英寸多規格的高質量切片需求
倒角設備
晶盛機電研發的半導體級高精度倒角設備,可加工8英寸和12英寸的單晶矽片,加工效率快、精度高、穩定性強
研磨設備
晶盛機電研發出應用於半導體級單晶矽片的雙面精密研磨設備,可加工8英寸和12英寸的單晶矽片,加工效率快、精度高
減薄設備
晶盛機電研發的磨削設備,主要用於半導體單晶矽片的單面磨削,也可用於其它脆硬材料的單面高精度磨削
邊緣拋光
晶盛機電研發出應用於半導體單晶矽片邊緣部分的拋光設備,可加工8英寸和12英寸單晶矽片,填補了國內12英寸邊拋機的空白,實現了進口設備替代
雙面拋光
晶盛機電研發出了碳化矽、半導體矽、藍寶石三大領域的研磨拋光設備,滿足6英寸至12英寸多規格的高質量研磨拋光需求,具有產能高、精度高、穩定性高的優勢
最終拋
晶盛機電研發出12英寸矽片最終拋光設備,並實現國產化配套應用,實現進口設備替代,設備自動化程度、穩定性高,加工產品平坦度好
8英寸拋光線
晶盛機電研發的8英寸拋光線,實現進口設備替代,設備自動化程度高、穩定性好,可對接多種形式自動上下料方式,滿足客戶定製化需求
半導體材料裝備(部分產品)
擁有8-12英寸半導體矽片從晶體生長到加工的全鏈條設備